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衍射光柵（Diffractive Grating）設計與加工

衍射光柵是通過周期性結構，對入射光的振幅或相位（或兩者同時）進行周期性空間調制。衍射光柵不僅用于光譜學，還廣泛用于計量、光通訊、信息處理等領域。衍射光柵種類很多，常用的有閃耀光柵、全息光柵、矩形光柵等。

AR增強現實眼鏡可以使用衍射光柵（又被稱為浮雕光柵）來實現光波導。相比于幾何光波導，浮雕光柵波導可以將AR眼鏡做得更輕薄，更適合消費類電子領域的應用。為了使往眼睛方向衍射的光耦合效率達到最高，AR鏡片的入射光柵最好使用斜齒 (slanted grating)或者三角形的閃耀光柵(blazed grating)，但這兩種光柵的設計和加工難度都很高。

基于VirtualLab Fusion內置的傅里葉模態法（Fourier Modal Method，FMM/RCWA）以及參數掃描（New Parameter Run）和參數優化（New Parametric Optimization）功能，能夠針對不同的視場角，快速的完成傾斜光柵以及閃耀光柵等的設計并對所需的級次進行優化，以獲得最大的耦合效率，最后導出GDSII結構以進行微納加工。

目前，我們除了可以提供各種常用的衍射光柵標準產品之外，還可以提供客戶化的定制加工服務。特別是可以實現納米級的斜齒光柵和三角形的閃耀光柵的加工。

    

左圖：基于VirtualLab Fusion設計的傾斜光柵折射率分布；右圖：加工所得的傾斜光柵