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JCMsuite應用：一維周期線柵
時間:2023-04-03 16:29來源:訊技光電作者: 技術部點擊:次打印
這是一維周期線柵的簡單案例。周期單元包含通過光柵的二維截面。在這種情況下，線柵的橫截面呈梯形，它位于襯底上，被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當波長為193nm時，平面波從襯底側垂直入射到結構內的近場強度。
S偏振光照明的近場強度
P偏振光照明的近場強度
 
后處理傅里葉變換計算透射衍射級次的振幅。
 
參數掃描
 
Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級次的強度：
 
在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定時，線柵的寬度從150nm增至250nm。這將產生以下線柵寬度依賴關系：
 
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